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日本光刻机什么水平 (日本的光刻机水平)

作者:admin 发布时间:2023-03-02 10:04:39 分类:科技 浏览:678 评论:0


导读:日本光刻机什么水平日本的光刻机水平0.355微米的光刻机属于低端光刻机。0.35微米就是350纳米,这个级别的光刻机属于光刻机机型中的低端型。光刻机等级分类是13.5nm极紫外...

日本光刻机什么水平

日本的光刻机水平

0.355微米的光刻机属于低端光刻机。0.35微米就是350纳米,这个级别的光刻机属于光刻机机型中的低端型。光刻机等级分类是13.5nm极紫外光光源的euv光刻机单独为高端机型,以193纳米为光源但可以加工到45nm以下的为中端光刻机,45nm以上的为低端光刻机。目前高端光刻机只有荷兰能造,而我国上海微电子今年28nm中端光刻机已经通过技术检测和认证,预计年底能量产。


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