作者：admin 发布时间：2023-03-02 10:04:39 分类：科技 浏览：784 评论：0
0.355微米的光刻机属于低端光刻机。0.35微米就是350纳米，这个级别的光刻机属于光刻机机型中的低端型。光刻机等级分类是13.5nm极紫外光光源的euv光刻机单独为高端机型，以193纳米为光源但可以加工到45nm以下的为中端光刻机，45nm以上的为低端光刻机。目前高端光刻机只有荷兰能造，而我国上海微电子今年28nm中端光刻机已经通过技术检测和认证，预计年底能量产。
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